根據(jù)廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件、技術(shù)評(píng)估報(bào)告等,按照建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)審批程序的有關(guān)規(guī)定,我審批機(jī)構(gòu)擬對(duì)該項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件作出批準(zhǔn)決定。為體現(xiàn)公開(kāi)、公正的原則,強(qiáng)化公眾參與,現(xiàn)予公示。公示期5個(gè)工作日(2022年01月17日至2022年01月21日)。如有意見(jiàn),請(qǐng)?jiān)诠酒趦?nèi)來(lái)信或來(lái)電向我審批機(jī)構(gòu)反映。
聯(lián)系地址:清遠(yuǎn)市清城區(qū)廣清大道113號(hào)清城區(qū)政務(wù)服務(wù)中心3樓6號(hào)窗,郵編:511500
聯(lián)系電話(huà):0763-3665506
傳 真:0763-3665566
聽(tīng)證告知:依據(jù)《中華人民共和國(guó)行政許可法》第四十七條的規(guī)定,自公示之日起五個(gè)工作日內(nèi)申請(qǐng)人及有關(guān)利害關(guān)系人可對(duì)我審批機(jī)構(gòu)擬作出的決定提出聽(tīng)證申請(qǐng)。
項(xiàng)目名稱(chēng) | 廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目 |
建設(shè)地點(diǎn) | 清遠(yuǎn)高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號(hào)ji(即清遠(yuǎn)先導(dǎo)材料有限公司廠區(qū)內(nèi)) |
建設(shè)單位 | 廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司 |
項(xiàng)目概況 | 利用先導(dǎo)廠區(qū)在建的芯片車(chē)間(原砷車(chē)間)新增設(shè)備建設(shè)年產(chǎn)10000萬(wàn)顆射頻芯片(PA)、4500萬(wàn)顆光通訊芯片(PD)生產(chǎn)線(xiàn)及年產(chǎn)3000萬(wàn)顆器件(芯片)封裝生產(chǎn)線(xiàn)、2000萬(wàn)個(gè)光通訊模塊生產(chǎn)線(xiàn)的半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。 |
環(huán)評(píng)機(jī)構(gòu) | 湖南新瑞智環(huán)境科技有限責(zé)任公司 |
主要環(huán)境影響及預(yù)防或減輕不良環(huán)境影響的對(duì)策和措施 | (一)環(huán)境空氣保護(hù)措施及環(huán)境影響 根據(jù)《報(bào)告表》,本項(xiàng)目產(chǎn)生的廢氣主要為光刻(含光刻、BCB光刻及SiO2光刻)、有機(jī)清洗(含剝離、去膠清洗、去蠟清洗)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣(NMHC);無(wú)機(jī)酸洗、刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的酸霧;沉積過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣(氮氧化物);烘烤、塑封、焊接等過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣(NMHC);焊接、烘烤過(guò)程中產(chǎn)生的顆粒物(錫及其化合物);貼片烘烤過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣(NMHC)。 光刻廢氣由密閉設(shè)備直接通過(guò)管道收集,有機(jī)清洗工序產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通過(guò)半封閉集氣罩收集,一并經(jīng)一套二級(jí)活性炭吸附裝置(TA002)處理后,由20米高排氣筒(DA002)排放。非甲烷總烴排放執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二時(shí)段二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值。 蝕刻廢氣、沉積廢氣由密閉設(shè)備直接通過(guò)管道收集,無(wú)機(jī)清洗工序產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通過(guò)半封閉集氣罩收集,一并經(jīng)一套堿液噴淋塔(TA001)處理后,由20米高排氣筒(DA001)排放。硫酸霧、磷酸霧、氟化物、氯化氫、氮氧化物排放執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二時(shí)段二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值。 烘烤廢氣由密閉設(shè)備直接通過(guò)管道收集,塑封、焊接廢氣通過(guò)通風(fēng)櫥收集,一并經(jīng)一套二級(jí)活性炭吸附裝置(TA003)處理后,由20米高排氣筒(DA003)排放。錫及其化合物、非甲烷總烴排放執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二時(shí)段二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值。 廠區(qū)內(nèi)有機(jī)廢氣排放還應(yīng)達(dá)到《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB 37822-2019)表A.1 廠區(qū)內(nèi)VOCs無(wú)組織排放限值的特別排放限值要求。 根據(jù)《報(bào)告表》分析,項(xiàng)目廢氣污染物達(dá)標(biāo)排放,對(duì)周邊大氣環(huán)境影響較小。 (二)地表水環(huán)境保護(hù)措施及環(huán)境影響 根據(jù)《報(bào)告表》,本項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)期產(chǎn)生的廢水主要為酸洗廢水、有機(jī)廢水、研磨廢水、切割廢水、清洗廢水、噴淋廢水以及員工生活污水。 員工生活污水經(jīng)三級(jí)化糞池、食堂含油污水經(jīng)隔油隔渣池預(yù)處理,達(dá)到廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時(shí)段三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)與龍?zhí)廖鬯幚韽S進(jìn)水水質(zhì)指標(biāo)中的較嚴(yán)格者后排入市政污水管網(wǎng),進(jìn)入龍?zhí)廖鬯幚韽S處理,尾水排入大燕河。 酸洗廢水、有機(jī)廢水通過(guò)“隔油+A/O”廢水處理設(shè)施預(yù)處理、清洗廢水通過(guò)隔油預(yù)處理后,與噴淋塔廢水一并依托先導(dǎo)廠區(qū)“化學(xué)處理+混凝沉淀+2#MVR”處理,達(dá)到《無(wú)機(jī)化學(xué)工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 31573-2015)間接排放標(biāo)準(zhǔn)、《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 39731-2020)表1 間接排放限值及龍?zhí)廖鬯幚韽S進(jìn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的較嚴(yán)值后,一并由清遠(yuǎn)先導(dǎo)材料有限公司排放口(WS-OR00688)排入市政污水管網(wǎng),進(jìn)入龍?zhí)廖鬯幚韽S處理,尾水排入大燕河。 研磨廢水、切割廢水經(jīng)化學(xué)沉淀預(yù)處理達(dá)到《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 39731-2020)表1中“總砷”排放限值后依托先導(dǎo)廠區(qū)1#MVR處理達(dá)到《城市污水再生利用 工業(yè)用水水質(zhì)》(GB/T 19923-2005)敞開(kāi)式循環(huán)冷卻水系統(tǒng)補(bǔ)充水標(biāo)準(zhǔn)后,回用于先導(dǎo)廠區(qū)冷卻循環(huán)水補(bǔ)充水,不外排。 根據(jù)《報(bào)告表》分析,項(xiàng)目廢水污染物達(dá)標(biāo)排放,對(duì)周?chē)乇硭h(huán)境影響較小。 (三)聲環(huán)境保護(hù)措施及環(huán)境影響 根據(jù)《報(bào)告表》,項(xiàng)目噪聲污染源主要來(lái)源于各車(chē)間生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械噪聲,噪聲源等效聲級(jí)在70~75dB(A)之間。 項(xiàng)目擬選用低噪聲設(shè)備,廠區(qū)合理布局、合理安排生產(chǎn)時(shí)間,采取隔聲、減振措施,加強(qiáng)噪聲設(shè)備的維護(hù)管理,降低噪聲對(duì)周?chē)h(huán)境的影響。 根據(jù)《報(bào)告表》分析,項(xiàng)目的邊界噪聲可達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中3類(lèi)聲環(huán)境功能區(qū)排放限值,對(duì)周?chē)h(huán)境影響較小。 (四)固體廢物污染治理措施及環(huán)境影響 根據(jù)《報(bào)告表》,產(chǎn)生的固廢主要為員工生活垃圾、一般工業(yè)固廢及危險(xiǎn)廢物。 項(xiàng)目員工的生活垃圾分類(lèi)收集后,統(tǒng)一交由環(huán)衛(wèi)部門(mén)及時(shí)清運(yùn)處置;廢樹(shù)脂、焊渣、廢載具、生化污泥分類(lèi)收集后定期交由專(zhuān)業(yè)公司回收處理;廢硫酸、廢磷酸、廢顯影液、廢去膠液、有機(jī)廢液、不合格芯片、含氟廢液、砷化鎵碎屑、不合格產(chǎn)品、廢膠水、廢活性炭、廢包裝材料、隔油池廢油、含砷污泥等等屬于危險(xiǎn)廢物,交由具有危險(xiǎn)廢物處理資質(zhì)的單位處置。 |
公眾參與情況 |